MPW-PFA-CASS-4IN-25S
Entegris A182-39MLC-0215 100 mm 25-wafer PFA process carrier
- ブランド
- Entegris
仕様
BrandEntegris
Manufacturer part numberA182-39MLC-0215
Wafer size100 mm (4 inch)
Slot count25
MaterialPFA
SpecificationWindow end wall with flanges; open side wall with wash slots; high profile
Source pagehttps://www.entegris.com/shop/en/USD/products/wafer-handling/wafer-processing/100-mm-wafer-processing/100-mm-Wafer-Carriers/p/100MMWaferCarriers
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