MPW-PFA-CASS-6IN-25S
Entegris A182-60MB-0215 150 mm 25-wafer PFA process carrier
- ブランド
- Entegris
仕様
BrandEntegris
Manufacturer part numberA182-60MB-0215
Wafer size150 mm (6 inch)
Slot count25
MaterialPFA
SpecificationSolid end wall with flanges; high profile
Source pagehttps://www.entegris.com/shop/en/USD/products/wafer-handling/wafer-processing/150-mm-wafer-processing/150-mm-Process-Wafer-Carriers/p/150MMProcessWaferCarriers
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