4424-5640ENT-0817 토론
4424-5640ENT-0817: 1 개의 토론. EBARA F-REX300 PVA 브러시: PVP0EF3R1 대 PVP1EF3R1 및 확인 사항
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EBARA F-REX300 PVA 브러시: PVP0EF3R1 대 PVP1EF3R1 및 확인 사항
도구 이름은 유용한 출발점이 되지만, 교체용 브러시의 모든 세부 사항을 식별하지는 않습니다. 이 MST 기술 노트는 제조사가 나열한 두 가지 참조 번호를 설명하고, 설치된 부품을 식별하기 위한 체크리스트를 제공합니다. ## 1. 제조사가 나열하는 내용 Entegris는 두 가지 참조 번호 모두를 EBARA F-REX300, 300 mm 웨이퍼 플랫폼과 연관시킵니다: - PVP0EF3R1: NH4OH 보존제. - PVP1EF