M200 토론
M200: 1 개의 토론. MKS와 Brooks 질량 유량 제어기 (MFC) 대체: 직접 교체용 점검 목록 (가스, 범위, 피팅, I/O, 전원, 응답)
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MKS와 Brooks 질량 유량 제어기 (MFC) 대체: 직접 교체용 점검 목록 (가스, 범위, 피팅, I/O, 전원, 응답)
**핵심 답변:** "Same full scale"(풀 스케일이 동일함)이라는 조건만으로 MFC를 바로 교체할 수 있는 것은 아닙니다. MKS 장비로 Brooks 장비를 대체하기 전(또는 그 반대의 경우), 다음 일곱 가지를 확인하십시오. **가스와 교정, 풀 스케일 범위, 피팅과 길이, I/O 유형과 커넥터/핀 배열, 공급 전압과 전력, 응답/안정화, 씰**입니다. MKS 자체 교차 참조표는 단종된 **MKS** 모델을 현행