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1161B: 1 件のディスカッション. MKS と Brooks のマスフローコントローラ (MFC) の置き換え：そのまま交換できるかを確認するチェックリスト（ガス、レンジ、継手、I/O、電源、応答）
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MKS と Brooks のマスフローコントローラ (MFC) の置き換え：そのまま交換できるかを確認するチェックリスト（ガス、レンジ、継手、I/O、電源、応答）
**要点：** 「フルスケールが同じ」だけでは、MFC をそのまま置き換えられるとは限りません。Brooks 製品を MKS 製品で置き換える前に（またはその逆の場合も）、七つの項目を確認してください。**ガスと校正、フルスケールレンジ、継手と長さ、I/O の種類とコネクタ／ピン配置、電源電圧と消費電力、応答／整定、シール**です。MKS 自身のクロスリファレンス表が対応づけているのは、生産終了した **MKS** モデルと現行の **MKS** モデルだけであり、その中でも