H2O2の議論
H2O2: 1 件のディスカッション. EBARA F-REX300 PVAブラシ：PVP0EF3R1 と PVP1EF3R1 の比較と確認事項
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EBARA F-REX300 PVAブラシ：PVP0EF3R1 と PVP1EF3R1 の比較と確認事項
ツール名は有用な出発点ですが、交換用ブラシのすべての詳細を特定するものではありません。このMST技術ノートでは、メーカーがリストしている二つの参照番号を説明し、設置されている部品の特定のためのチェックリストを提供します。 ## 1. メーカーがリストしている内容 Entegrisは、両方の参照番号をEBARA F-REX300、300 mm ウェハープラットフォームに関連付けています： - PVP0EF3R1：NH4OH 保存剤。 - PVP1EF3R1：H2O2 保存剤