半導体用FFKM Oリングの選定：MORISEAL Moriszグレードと適用限界

半導体用FFKM Oリングの選定は、まずシール用途、次に材料グレード、そして完成寸法から始まります。同じポリマーファミリーであっても、すべてのコンパウンドが相互に交換可能であるわけではありません。本ガイドは、MORISEALが公開しているMorisz材料表を整理し、設備エンジニア、保守担当者、および地域販売店向けのスクリーニング参考資料として提供します。

以下の圧縮永久歪み値はすべて、メーカーが明記した条件、すなわち 200 °C における 70 時間に基づいています。硬さはHAとして記載されています。温度範囲はカタログ値であり、すべてのガス混合物やプラズマレシピに対する適合性評価を示すものではありません。

プラズマ曝露下での移動シール接触点については、メーカーは 5130UP について低摩擦性と耐摩耗性を強調しています。実際のシールが移動するか、どのように荷重がかかるか、そして曝露が直接プラズマか遠隔プラズマかを特定してください。

特殊ガス配管については、MPF506UP は文書化された候補方向です。これはすべての特殊ガスとの適合性を確立するものではありません。材料の推奨を求める前に、ガス種、混合物、濃度、圧力、温度を記録してください。

高温での水蒸気、酸素、またはオゾンに対して、メーカーは 6002UP と 5802SP を挙げています。それらの記載された硬さと圧縮永久歪み値は異なります。実際のシール溝と運転サイクルにとってどの違いが重要かを問い合わせてください。表だけでは完成シールを選定することはできません。

高温での機械的応力下におけるプラズマ曝露については、6880SP と 6880SZ を比較してください。N65 はより高いカタログ上限温度に対応しています。ST50i はより低いカタログ下限温度に対応しています。どちらの端点も、未指定の用途持続時間や化学的組み合わせに拡張することはできません。

公開されている表において、6880SP と 6880SZ は 0 から 315 °C の温度範囲と 80±5 HA の硬さを共有していますが、200 °C / 70 時間における圧縮永久歪み値はそれぞれ 17% と 9% です。これは文書化された数値上の違いです。これは同一の配合、プラズマ侵食、粒子放出、アウトガス、シール寿命、または普遍的な代替可能性を確立するものではありません。

この表には、圧縮永久歪み試験の規格、試片形状、または圧縮率が記載されていません。他のメーカーのデータシートと比較する前に、これらの詳細を要求してください。カタログ表を再現することによって、試験報告書や設備適合性が作成されるわけではありません。

材料グレードの要求は、寸法または図面なしでは不完全です。内径、線径、単位、公差、および適用されるサイズコードを記録してください。また、シール溝寸法と、接合部が静的か動的かも記録してください。写真は外観を示しますが、それ自体では寸法や材料の同一性を確立することはできません。

MORISEALは、サイズ照会ページに標準サイズファミリーとカスタムサイズを掲載しています。サイズファミリーの索引は、すべての材料とサイズの組み合わせがすぐに入手可能であることを証明するものではありません。

SEMIディレクトリには、moriseal.com ウェブサイトを持つ Sen Huan Electrical Technology が掲載されています。SEMICON China 2025 出展者プロフィールは、工場セクションで Shanghai Moriseal Advanced Material Technology を紹介しています。これは会社の背景を裏付けるものですが、会員ディレクトリや展示会リストは製品認証ではありません。

メーカー材料表： https://www.moriseal.com/en/Product/index.aspx 中国語メーカー表： https://www.moriseal.com/Product/index.aspx サイズ照会： https://www.moriseal.com/ProductCenter/index.aspx SEMI会社リスト： https://www.semi.org/en/resources/ecs-directory/sen-huan-electrical-technology SEMICON China出展者プロフィール： https://expo.semi.org/china2025/Public/eBooth.aspx?BoothID=602348

メーカーや販売店は、既知のグレード、サイズリスト、数量、非機密の運転条件、目的地、および希望納期を送信できます。不明な項目は、見積もり前に明確にできます。価格、供給、最小注文数量、文書、およびリードタイムは、実際の仕様に対する見積もりが必要です。

材料シリーズの製品ページを参照してください： https://store.mst-sg.com/store/semiconductor-seals-o-rings

このページの照会アクションを使用して、タグ付けされたグレードを要求に含めてください。非機密の用途に関する質問への返信も、確認が必要な欠落条件を明確にするのに役立ちます。

MST Engineering 編集参考資料。ソースレビュー： 2026-10-19。用途適合性やブランド間のドロップイン同等性は主張されていません。

該当する材料グレードの英語製品ページで、メーカー写真と出典に基づく仕様を確認し、寸法を指定して見積もりを依頼できます。掲載単位は材料シリーズです。完成品の寸法と使用条件への適合性は個別に確認が必要です。

Morisz 5130UP — 製品データと見積もり https://store.mst-sg.com/store/semiconductor-seals-o-rings/MORISZ-5130UP-RFQ

Morisz MPF506UP — 製品データと見積もり https://store.mst-sg.com/store/semiconductor-seals-o-rings/MORISZ-MPF506UP-RFQ

Morisz 6002UP — 製品データと見積もり https://store.mst-sg.com/store/semiconductor-seals-o-rings/MORISZ-6002UP-RFQ

Morisz 5802SP — 製品データと見積もり https://store.mst-sg.com/store/semiconductor-seals-o-rings/MORISZ-5802SP-RFQ

Morisz 6880SP — 製品データと見積もり https://store.mst-sg.com/store/semiconductor-seals-o-rings/MORISZ-6880SP-RFQ

Morisz 6880SZ — 製品データと見積もり https://store.mst-sg.com/store/semiconductor-seals-o-rings/MORISZ-6880SZ-RFQ

Morisz N65 — 製品データと見積もり https://store.mst-sg.com/store/semiconductor-seals-o-rings/MORISZ-N65-RFQ

Morisz ST50i — 製品データと見積もり https://store.mst-sg.com/store/semiconductor-seals-o-rings/MORISZ-ST50I-RFQ

半導体用 O リングの見積依頼チェックリストで必要情報を整理してください： https://store.mst-sg.com/community/t/5-semiconductor-o-ring-rfq-checklist-dimensions-operating-cond