Traducción del original en inglés realizada por MST Engineering. Ver original
**Respuesta breve:** Tener «el mismo fondo de escala» no convierte un controlador de flujo másico (MFC) en un sustituto directo. Antes de reemplazar una unidad Brooks por una MKS (o a la inversa), compruebe siete aspectos: **gas y calibración, rango de fondo de escala, conexiones y longitud, tipo de E/S y conector/asignación de pines, tensión y potencia de alimentación, respuesta/estabilización y juntas**. La propia tabla de referencias cruzadas de MKS solo relaciona modelos **MKS** descatalogados con modelos **MKS** actuales, e incluso en ese caso advierte que «el producto más reciente no es un sustituto directo» en algunos casos. Aquí no se cita ninguna referencia cruzada oficial MKS↔Brooks. Considere cualquier sustitución entre marcas como un **candidato por verificar**.
Paso 0: ¿su MFC ya está obsoleto?
La MKS Flow Product Cross Reference Chart (ejemplos, correspondencias literales):
| MKS descatalogado | Sustituto recomendado por MKS | Nota de la tabla |
|---|---|---|
| Familia 1179A (según la hoja de datos GE50A) | GE50A | Hoja de datos GE50A: sus E/S analógicas y digitales «pueden utilizarse fácilmente para sustituir esos mismos tipos de E/S del 1179A» |
| 1159B, 1162B, 1749A, M100B | GE50A (con juntas elastoméricas) | — |
| 1160B, 1161B | GE50A | "Contact MKS Applications Engineering for Adapter Cable" (contacte con el departamento de ingeniería de aplicaciones para solicitar un cable adaptador) |
| 1259C | GE50A | "…for Length Adapter" (…para solicitar un adaptador de longitud) |
| 1759A | GE50A | Solo «para caudales de hasta 50 slm, equivalentes de N2» |
| 1479A/B, 1480A, 1459C, 1462C | GM50A (con juntas metálicas) | 1461C también necesita un cable adaptador |
| 2159B, 2179A/B | GV50A (con válvula de cierre) | — |
| 1661A, M200 | P4B | — |
Las notas sobre cables adaptadores y adaptadores de longitud describen precisamente los problemas que también aparecen al cambiar de marca.
La lista de comprobación y lo que indican las hojas de datos
| Comprobación | MKS GE50A | Brooks SLA5850 (SLA5800 Series) | Qué verificar |
|---|---|---|---|
| Rango de fondo de escala (eq. de N2) | 5–50,000 sccm | 0.003–50 slpm | Su FS y su gas, no solo N2 |
| Rango de control | 2–100 % FS | 1–100 % FS (100:1 de 1–50 slpm) | La consigna más baja que utiliza realmente |
| Exactitud (gas de calibración) | ±1 % de la lectura a 20–100 % FS. ±0.2 % FS para 2–20 % FS | ±0.9 % S.P. (20–100 % FS), ±0.18 % FS (<20 % FS), incluida la incertidumbre del sistema de calibración | La misma definición y base |
| Estabilización / respuesta | <750 ms típico por encima del 5 % FS (SEMI E17-0600) | <1 s (estabilización dentro de ±2 % FS, escalón de 0–100 %) | Temporización de los pasos de la receta. Las definiciones difieren |
| E/S analógicas | 0–5 VDC (D de 9 o 15 pines) o 4–20 mA (D de 15 pines) | 0–5 V, 1–5 V, 0–10 V, 0–20 mA, 4–20 mA (D de 15 pines) | Tipo de señal **y** asignación de pines |
| Alimentación (analógica) | +15 a +24 VDC, <4 W | +13.5 a +27 Vdc. Hasta 8 W (orificio >0.032″) | Línea de tensión de la fuente de alimentación del equipo y corriente disponible |
| Opciones digitales | DeviceNet, RS485, Profibus, EtherCAT, PROFINET | RS485, Profibus, DeviceNet, EtherCAT, EtherNet/IP, PROFINET | Protocolo **y** archivo EDS/GSD/ESI |
| Conexiones | 4 VCR macho, 4 VCO, compresión de 1/4″, KF-16, C-seal, otras. "Standard 3-inch footprint" (dimensiones de montaje estándar) | 1/4″ VCR, 3/8–1/2″ VCR, puertos inferiores con juntas elastoméricas, otras | Plano de longitud entre caras / dimensiones de montaje |
| Juntas | Viton de serie. Opciones Buna-N, Neoprene, EPDM, Kalrez | Viton, Buna-N, Kalrez, Teflon/Kalrez, EPDM | Compatibilidad con el gas |
| Válvula | NC o NO | NC, NO, medidor | Mismo estado por defecto ante la pérdida de alimentación |
| Ambiente | 10–50 °C | −14 a 65 °C | Temperatura dentro de la envolvente |
| Fuga interna (válvula cerrada) | <0.1 % FS (hasta válvula 10K), <1.0 % FS (20K–50K) | <1 % FS estándar | MKS: se necesita una válvula de cierre independiente para caudal cero |
Dónde suelen fallar las sustituciones directas
1. **Asignación de pines del conector.** Ambos utilizan D-sub de 15 pines en las versiones analógicas, pero no dé por hecho que los pines coinciden. La hoja de datos actual del GE50A (10/21) solo enumera opciones de conectores analógicos MKS de 9 y 15 pines (incluidas variantes "tied grounds", con masas unidas), sin ningún código de asignación de pines compatible con Brooks. Compare pin por pin con el manual de instalación de cada fabricante antes de conectar.
2. **Rango de señal.** Un controlador de equipo de 0–5 V que controle un MFC de 4–20 mA (o una unidad Brooks de 1–5 V) dará un caudal incorrecto, o ninguno.
3. **Calibración de gas.** Ambos fabricantes especifican la exactitud con el *gas de calibración*. Pida la unidad calibrada (o configurada) para su gas de proceso y su FS. El pedido de GE50A utiliza un código de gas SEMI E52 (p. ej., 013 = N2) más un código de FS de 3 dígitos (p. ej., 502 = 5000 sccm). No aplique a un sustituto un factor genérico de corrección de gas de una tabla de terceros y dé por hecho que el resultado cumple la especificación. Consulte al fabricante.
4. **Longitud y juntas.** Una longitud entre caras o un tipo de junta diferente obliga a modificar las tuberías del módulo de gas, no solo a cambiar la unidad. La nota "length adapter" (adaptador de longitud) de la tabla de MKS indica lo mismo.
5. **Archivos de red digital y direccionamiento.** El MAC ID de DeviceNet, la dirección de estación de Profibus y el ESI de EtherCAT deben corresponder a la configuración del equipo.
6. **Diferencial de presión.** GE50A necesita 10–40 psid (rango de 10–5000 sccm). SLA5850 necesita un mínimo de 5 psi. Compruebe la presión de suministro.
Qué enviar en una solicitud de cotización (RFQ) (ingeniería + compras)
- MFC actual: fabricante, modelo / código de pedido completo, foto de la etiqueta con el número de serie
- Gas, caudal de fondo de escala, gas de calibración requerido
- E/S: tipo analógico (0–5 V / 4–20 mA…) o protocolo, conector, cualquier asignación de pines específica del equipo
- Conexiones y longitud de montaje; material de las juntas; NC/NO
- Tensión de alimentación disponible; temperatura ambiente
- Solo sustitución exacta, o se admite un candidato de otra marca para evaluación
- Cantidad, fecha requerida, requisito de certificado de calibración
*MKS es una marca comercial de MKS Inc. Brooks es una marca comercial de Brooks Instrument. Los nombres y los números de modelo se utilizan únicamente con fines de identificación. MST no está afiliada a estas empresas ni cuenta con su respaldo.*
Documentos originales de los OEM (solo enlaces)
1. MKS, "MKS Flow Products Cross Reference Chart" (página web). https://www.mks.com/n/mks-flow-product-cross-reference-chart
2. MKS, hoja de datos "GE50A Elastomer Sealed, Digital Mass Flow Controller", GE50A_10/21. https://api.p1.mks.com/mam/celum/celum_assets/resources/GE50-DS.pdf
3. Brooks Instrument, hoja de datos "SLA5800 Series Elastomer Sealed, Digital, General Purpose Gas Mass Flow Controllers & Meters", Data-Sheet-SLA5800-EN/2026-07. https://www.brooksinstrument.com/hubfs/Data-Sheet-SLA5800-EN.pdf
4. Biblioteca de documentos de Brooks Instrument (SLA5800 Installation & Operation Manual y suplementos de protocolos, para las asignaciones de pines). https://sales.brooksinstrument.com/service-support/download-documents
Solicitar una cotización
¿Necesita un MFC de las mismas características o un candidato calibrado para su gas? Publique una [solicitud de búsqueda de piezas](/community/new?kind=part_request&mpn=GE50A) con los campos de la lista de comprobación o envíe una [RFQ de abastecimiento](/services/sourcing-rfq?sourcing_mode=supplier_match). MST responde en el hilo o por correo electrónico. MST no afirma disponer de existencias de ninguno de los modelos mencionados aquí; el abastecimiento se realiza bajo solicitud.
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