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F-REX300: 1 篇讨论. EBARA F-REX300 PVA 刷：PVP0EF3R1 与 PVP1EF3R1 及检查要点
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EBARA F-REX300 PVA 刷：PVP0EF3R1 与 PVP1EF3R1 及检查要点
工具名称是一个有用的起点，但它并不能确定替换刷的所有细节。本 MST 技术说明解释了制造商列出的两个参考编号，并提供了一份用于识别已安装部件的清单。 ## 1。制造商列出的内容 Entegris 将这两个参考编号与 EBARA F-REX300、300 mm 晶圆平台相关联： - PVP0EF3R1：NH4OH 保护剂。 - PVP1EF3R1：H2O2 保护剂。 Ebara 专用数据表描述了一种安装在聚丙烯芯上的 PVA 刷。其刷外径为 39 ± 1.0 mm。图纸标