技术参数
品牌Entegris
厂家料号A182-39MLC-0215
晶圆尺寸100 mm (4 英寸)
槽数25
材料PFA
规格带法兰的开窗端壁；侧壁开放并带清洗槽；高型结构
来源页面https://www.entegris.com/shop/en/USD/products/wafer-handling/wafer-processing/100-mm-wafer-processing/100-mm-Wafer-Carriers/p/100MMWaferCarriers
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选型与应用
选型要点
花篮匹配
Entegris A182-39MLC-0215 是 100 mm 晶圆用 25 槽 PFA 载具。须按设备核对端墙、法兰及篮体高度结构，不能仅按晶圆直径选型。
工艺核对
提供晶圆厚度、机械手或槽体接口、化学品、浓度及工艺温度；依据当前厂家图纸与应用指导确认尺寸和化学兼容性。
常见问题
A182-39MLC-0215 的关键参数是什么？
A182-39MLC-0215：品牌: Entegris; 厂家料号: A182-39MLC-0215; 晶圆尺寸: 100 mm (4 英寸); 槽数: 25; 材料: PFA; 规格: 带法兰的开窗端壁；侧壁开放并带清洗槽；高型结构。完整数值见上方参数表。
如何获取 A182-39MLC-0215 的价格？
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